Блок измерения больших радиусов OptoTL – RM400 (патент на изобретение Опто-ТЛ)

Блок измерения больших радиусов OptoTL – RM400 (патент на изобретение Опто-ТЛ)

Основным методом контроля радиусов кривизны на интерферометре до сих пор является метод прямого измерения перемещения эталонного объектива или контролируемой поверхности от положения совпадения центров кривизны (конфокальная позиция) до положения «кошачий глаз» на величину измеряемого радиуса.

Этот метод имеет три серьезных недостатка:

• величина измеряемого радиуса ограничена величиной перемещения объектива или детали и/или длиной энкодера по которому производится замер;

• при больших значениях радиусов замер производится очень долго из-за большой величины измеряемого перемещения;

• снижение точности измерений при большой величине перемещения, так как погрешность любого энкодера увеличивается с увеличением измеряемой величины.

Опто-ТЛ был запатентован метод основанный на фазовом высокоточном бесконтактном измерении расстояния между эталонной и контролируемой поверхностью при установке их в конфокальную позицию на интерферометре Физо (например, модели OptoTL- 60/140).

Изначально производится замер радиусов эталонных поверхностей объективов с необходимой точностью.

Затем, при контроле детали на интерферометре, она устанавливается в конфокальную позицию), после чего программой OptoTL-FI запускается в работу блок измерения больших радиусов OptoTL – RM400 и в течение порядка 10-60 секунд производится замер радиуса с точностью до 10 мкм или выше, независимо от величины радиуса.

Максимальная величина измеряемой разности радиусов между эталонной и контролируемой поверхностями составляет 400 мм. Т.е. для измерения каждого дополнительного 1 метра радиусов сверх измеряемых сейчас интерферометром ОптоТЛ 60/140 – 350 мм, потребуется всего 3 дополнительных эталонных объектива. И, надо понимать, что это будут пологие, самые простые и дешевые (одно-линзовые) объективы.

На самом деле нет никаких препятствий для того, чтобы производить замер радиусов и меньшего номинала, если регламентируемая точность 10 мкм достаточна, а на стандартный метод измерения (более длительный) переходить только тогда и только для тех радиусов, когда требуется более высокая точность.

Приятный бонус этого блока – возможность контроля плоско-параллельных пластин и концентрических колпаков без помех от влияния второй полированной стороны.

Возможны три модификации Блока - OptoTL-RM400

• OptoTL - RM400-1 – блок, интегрированный с интерферометром OptoTL- 60/140 Поставляется вместе с новым прибором.
• OptoTL - RM400-2 – отдельный блок совместимый с приборами OptoTL предыдущих выпусков, не младше модели OptoTL-60/125.
• OptoTL - RM400-3 – универсальная приставка к другому интерферометру Физо для контроля сферических поверхностей с собственным компьютером или с использованием компьютера базового интерферометра. Возможность использования блока следует уточнить у технических специалистов Опто-ТЛ.

Параметры блока измерения больших радиусов OptoTL- RM400

Комплектность поставки  блока OptoTL- RM400