Опто-Технологическая Лаборатория производит интерферометры для контроля точности формы оптических поверхностей, измерения их радиусов и проверки искажения волновых фронтов объективов.


Главные преимущества интерферометров
нашей фирмы:

  • Небольшие габариты для размещения на производстве рядом с оптическими станками.
  • Специально разработанное оригинальное программное обеспечение FastInterf для оперативных измерений в производственных условиях.
  • Наличие двух мониторов для быстрой юстировки и визуализации интерференционной картины.
  • Большой набор эталонных объективов для интерферометра (таблица ниже).
  • Набор юстировочных столиков для контролируемых образцов.
  • Модульный принцип конструкции для быстрой перестройки интерферометра на различные задачи.
  • Контроль центрировки отдельных линз и линз в оправах.
  • Пассивная система виброизоляции.

Программное обеспечение FastInterf

Время обработки результатов – не более нескольких секунд.

Интерферометр оснащен программным обеспечением FastInterf, с помощью которого на основе результатов анализа интерферограммы вычисляются следующие параметры оптической поверхности:

  • размах местной ошибки: ΔN, P-V, irregularity;
  • среднеквадратичное значение местной ошибки RMS
  • регулярные аберрации минимум до 3 порядка;
  • полиномы Цернике.

Программное обеспечение имеет возможность:

  • производить усреднение результатов расшифровки нескольких интерферограмм;
  • производить вычитание эталонного волнового фронта;
  • выводить на монитор сгенерированную интерференционную картину для визуальной оценки адекватности расчета;
  • представлять результат в разных видах, в том числе в виде 3D топографии поверхности;
  • производить распечатку результатов расчета в виде, удобном для Заказчика.

Возможна модернизация программного обеспечения в соответствии с пожеланиями заказчика.

Интерферометр OptoTL-60

Интерферометр OptoTL-60 предназначен для бесконтактного технологического контроля точности формы (N/ΔN) оптических полированных плоских и сферических поверхностей диаметром до 60 мм, измерения точности поверхности и их радиусов, а также для проверки искажения волновых фронтов объективов.

Параметры Значение
Оптическая схема Физо
Расположение оптической оси схемы контроля Вертикальное
Тип поверхностей контролируемых деталей
  • Оптическая
  • Полированная
Форма контролируемых поверхностей
  • Плоская
  • Сферическая
Коэффициент отражения контролируемых поверхностей
1-99%
Диапазон диаметров:
  • плоские поверхности
  • сферические поверхности
  • 5 мм – 120 мм
  • 5 мм – 60 мм
Диапазоны допустимых радиусов при измерении точности формы поверхностей:
  • выпуклые (CX)
  • вогнутые (CC)
  • 900 мм – 3 мм
  • 3 мм – 1100 мм
Диапазон измеряемых радиусов:
  • выпуклые (CX)
  • вогнутые (CC)
  • 200 мм – 3 мм
  • 3 мм – 200 мм
Точность измерения радиусов поверхностей (в зависимости от условий измерений) 2-10 мкм.
Погрешность измерения, P-V λ/10
Максимальное измеряемое отклонение
Источник излучения HeNe 633 нм или DPSS SLM 532 нм
Масса прибора
<=30 kg
Габаритные размеры:
  • длина
  • ширина
  • высота
  • <=350 мм
  • <=450 мм
  • <=800 мм

Комплект эталонных объективов интерферометра

Линзы с эталонными поверхностями изготовлены из кварцевого стекла.
Эталонные поверхности аттестованы на интерферометре ZYGO. Эталонные объективы калибруются с использованием CaliBall ™ (интерферометрическое калибровочное устройство) с использованием Random Ball Test.

По просьбе заказчиков изготавливаются и другие эталонные объективы.

Относительное отверстие Радиус эталонной поверхности, мм Диаметр эталонной поверхности, мм Оптимальный диапазон контролируемых радиусов (для максимальной числовой апертуры), мм Допустимый диапазон контролируемых радиусов, мм
Optotl-60-Pl плоскость бесконечность 60
Optotl-60/120Pl плоскость бесконечность 120
Optotl-60-1:0.67CX 1:0.67 24CC 36 200CC-23CX
225CC-19CX
Optotl-60-1:0.8CX 1:0.8 39CC 49 23CX-38CX
200CC-38CX
Optotl-60-1:1.2CX 1:1.2 70CC 58 38CX-69CX
150CC-69CX
Optotl-60-1:1.8CX 1:1.8 110CC 59 69CX-105CX
110CC-105CX
Optotl-60-1:2.7CX 1:2.7 162CC 60 105CX-161CX
50CC-161CX
Optotl-60-1:4CX 1:4 240CC 60 161CX-239CX
30CX-239CX
Optotl-60-1:6CX 1:6 360CC 60 239CX-359CX
150CX-359CX
Optotl-60-1:9CX 1:9 540CC 60 359CX-540CX
330CX-540CX
Optotl-60-1:12CX 1:12 720CC 60 540CX-719CX
510CX-719CX
Optotl-60-1:15CX 1:15 901CC 60 719CX-900CX
690CX-900CX
Optotl-60-1:3.3CC 1:3.3 200CX 60 201CC-401CC 201CC-410CC
Optotl-60-1:6.6CC 1:6.6 400CX 60 401CC-601CC 401CC-610CC
Optotl-60-1:10CC 1:10 600CX 60 601CC-811CC 601CC-811CC
Optotl-60-1:13.5CC 1:13.5 810CX 60 811CC-1020CC 811CC-1020CC

Обращаем внимание, что при контроле сферических поверхностей главное значение имеет не диаметр коллиматора, а относительное отверстие (диафрагменное число).

Объясним это на примере сравнения контроля выпуклых радиусов 46 мм, 116 мм, 285 мм на интерферометре ZYGO 4” с диаметром коллиматора 100 мм и на интерферометре OptoTL-60 с диаметром коллиматора 60.

Для контроля радиуса 46 мм интерферометром ZYGO 4” применяется эталонный объектив ZYGO f/# 1:1.5, и диаметр контролируемой поверхности составляет 46:1.5=31 мм. Для контроля того же радиуса на интерферометре OptoTL-60 применяется OptoTL60-1:1.2CX , и диаметр контролируемой поверхности составляет – 46:1.2=38 мм.

Для радиуса 116 мм применяются, соответственно, эталонный объектив ZYGO f/# 1:3.3 и OptoTL60-1:2.7CX. При этом диаметр на ZYGO составит 116:3.3=35 мм, а на OptoTL-60 – 116:2.7=43 мм. По той же логике для радиуса 285 мм диаметр на ZYGO будет 40 мм, на OptoTL – 47 мм.

Таким образом, для выбранных радиусов диаметр поверхностей при контроле на интерферометре OptoTL-60 оказывается примерно на 20% больше по сравнению с диаметром при контроле на интерферометре ZYGO4”. Из этого следует, что больший коллиматор в оптическом интерферометре не всегда обладает преимуществом, но всегда приводит к увеличению стоимости.


Интерферометр OptoTL-250

Интерферометр OptoTL-250 предназначен для бесконтактного технологического контроля точности формы (N/ΔN) оптических полированных плоских поверхностей диаметром до 250 мм и искажения проходящего волнового фронта плоскопараллельных пластин.


Параметры Значение
Оптическая схема Физо
Расположение оптической оси схемы контроля Вертикальное
Тип поверхностей контролируемых деталей
  • Оптическая
  • Полированная
Форма контролируемых поверхностей Плоская
Коэффициент отражения контролируемых поверхностей 1-99%
Диапазон диаметров:
  • плоские поверхности
25 мм – 250 мм
Погрешность измерения, P-V λ/10
Максимальное измеряемое отклонение
Источник излучения HeNe 633 нм или DPSS SLM 532 нм.
Масса прибора <=250 kg
Габаритные размеры:
  • Длина
  • Ширина
  • Высота
  • <=500 мм
  • <=500 мм
  • <=950 мм

Специалисты компании решают задачи модернизации интерферометров в соответствии с конкретными задачами заказчиков.

Возможна модернизация имеющихся интерферометров с целью замены визуальной оценки интерференционной картины на цифровую обработку.

Купить интерферометры с программным обеспечением OptoTL-60 и OptoTL-250 или заказать производство интерферометра вы можете по телефону в Санкт-Петербурге: +7 (812) 347-76-90