Интерферометр OptoTL-300 предназначен для бесконтактного технологического контроля точности формы (N/ΔN) оптических полированных плоских поверхностей диаметром до 300 мм, искажения проходящего волнового фронта плоскопараллельных пластин, клиновидности прозрачных плоскопараллельных пластин.
Параметры | Значение |
---|---|
Оптическая схема | Физо |
Расположение оптической оси схемы контроля | Вертикальное |
Тип поверхностей контролируемых деталей |
|
Форма контролируемых поверхностей | Плоская |
Коэффициент отражения контролируемых поверхностей | 1-99% |
Оптический zoom, крат | 6 |
Диапазон диаметров:
|
30 мм – 300 мм |
Погрешность измерения, P-V | λ/10 |
Максимальное измеряемое отклонение | 5λ |
Пределы измерения клиновидности прозрачных пластин (в зависимости от диаметра), сек | 120 |
Погрешность измерения клиновидности плоскопараллельных пластин не более, сек | 0.5 |
Основной источник излучения | Одночастотный лазерный модуль 633 нм |
Дополнительный источник излучения (опция) | Лазерный модуль 660 нм |
Масса прибора, не более, кг | 500 |
Габаритные размеры:
|
|