Для сапфировых компонентов, работающих в высокоточных оптических и лазерных системах, состояние полированной поверхности напрямую влияет на уровень светорассеяния и контрастность изображения. Поэтому отдельное внимание уделяется достижению и контролю нанометрной шероховатости.
- Достижение шероховатости на уровне единиц нанометров по параметрам Ra/Rq для рабочих оптических поверхностей.
- Стабильная повторяемость параметров шероховатости от партии к партии за счёт стандартизированных режимов полировки.
- Выбор режима обработки под назначение изделия: окна, колпаки, линзы, элементы лазерной оптики.
- Контроль шероховатости контактными и бесконтактными методами, включая применение атомно-силовой микроскопии.
Шероховатость поверхности в процессе полировки контролировалась на
атомно-силовом микроскопе (АСМ) Solver Pro. На рисунках 1–5 приведены 2D и 3D профили шероховатости полированных поверхностей образцов на различных стадиях обработки по нашей технологии.
По мере увеличения времени обработки уменьшается не только величина шероховатости, но и меняется структура поверхности: рельеф становится более однородным, исчезают отдельные дефекты и микронеровности.